WEKO3
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X線リソグラフィにおけるマスクパターン欠陥の転写特性と解像性の向上に関する研究
http://hdl.handle.net/10061/4015
http://hdl.handle.net/10061/401522ce39df-f167-4f77-ae7c-3ee4d2883a60
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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abstract (268.6 kB)
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|
Item type | 学位論文(博士論文) / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2007-12-26 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | X線リソグラフィにおけるマスクパターン欠陥の転写特性と解像性の向上に関する研究 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | エックスセン リソグラフィ ニ オケル マスク パターン ケッカン ノ テンシャ トクセイ ト カイゾウセイ ノ コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | リソグラフィ | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | パターン | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | レジスト | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | X線 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | マスク | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 欠陥 | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||
著者 |
渡邊, 寛
× 渡邊, 寛 |
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書誌情報 |
発行日 2004-03-24 |
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出版者 | ||||||
出版者 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
学位名 | ||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
学位授与機関 | ||||||
学位授与機関名 | 奈良先端科学技術大学院大学 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2004-03-24 | |||||
学位授与番号 | ||||||
学位授与番号 | 甲第426号 | |||||
電子化ID |