금속 바인더를 이용한 방전에 강한 고 안정성 탄소나노튜브 전계방출형 전자빔 에미터의 제조방법 및 이를 이용한 탄소나노튜브 전계방출형 전자빔 에미터Fabrication method of high stable carbon nanotube field emitters against electrical discharge using metal binders and the carbon nanotube electron emitters fabricated thereby
금속 바인더를 이용한 방전에 강한 고 안정성 탄소나노튜브 전계방출형 전자빔 에미터 및 이의 제조방법을 개시한다. 상기 탄소나노튜브 전계방출형 전자빔 에미터의 제조방법은 탄소나노튜브를 정제하는 제1단계; 상기 정제된 탄소나노튜브를 휘발성 용매에 녹이는 제2단계; 상기 탄소나노튜브 용액과 금속 바인더들을 혼합하여 탄소나노튜브 페이스트를 제조하는 제3단계; 기계적, 화학적 공정을 통해 음극 기판을 연마하는 제4단계; 상기 탄소나노튜브 페이스트를 페이스트 지지기판에 액상 방울로 매달아 상기 연마된 음극 기판 상에 코팅하는 제5단계; 및 상기 탄소나노튜브 페이스트가 코팅된 음극 기판을 건조하고 고온 소결하는 제6단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-01-22
- Application Date
- 2012-04-12
- Application Number
- 10-2012-0037771
- Registration Date
- 2014-01-22
- Registration Number
- 10-1356632-0000
- Appears in Collection
- NE-Patent(특허)
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