Anyag ion kölcsönhatás vizsgálata a fókuszált ionsugaras megmunkálásban

Abstract

A szakdolgozatom célja kapcsolatba hozni ezt a jelenséget egy korábbi elméleti leírással (Bradley, R. Mark, and James M. E. Harper. "Theory of ripple topography induced by ion bombardment.") és egy lézeresen megmunkált (1 1 1) orientációjú réz egykristály mintán megállapítani a fókuszált ionsugaras megmunkálás optimális paramétereit, amivel elérhető a mikropillár aljáig sima fal.