Medoty analýzy povrchů. Iontové, sondové a speciální metody

0205566 - UPT-D 20020116 RIV CZ cze M - Část monografie knihy
Autrata, Rudolf - Jirák, Josef
Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie.
[Environmental scanning electron microscope.]
Medoty analýzy povrchů. Iontové, sondové a speciální metody. Praha: Academia, 2002 - (Frank, L.; Král, J.), s. 459 - 484. ISBN 80-200-0594-3
Grant CEP: GA AV ČR IBS2065107
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z2065902
Klíčová slova: collision ions * non-conductive specimens * ESEM
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (ESEM) je jedním z posledních vývojových stádií rastrovací elektronové mikroskopie. Její počátkyse datují od 70. let, kdy předmětem zájmu mnohých badatelů, např. Monterieffa aj. a Robinsona, bylo odstranění elektrického náboje z povrchu nevodivých vzorků napouštěním plynů do komory vzorku. Bylo zjištěno, že v důsledku izolačních srážek atomů a molekul plynů s elektrony se neprojevuje zádný ovrchový negativní náboj na izolačním vzorku, neboť tento náboj je kompenzován srážkovými ionty. Kompenzace elektrického náboje umožňuje přímé pozorování ekektricky nevodivých preparátů bez jejich pokrytí elektricky vodivou vrstvou.

Environmental scanning electron microscopy (ESEM) is one of the latest development stages of scanning electron microscopy. Its origin is dated fromthe beginning of nineteen seventies, when the object of interest of many research workers, e.g. Monterieff etc. [1,2] and Robinson [3] was to remove the electric charge from the surface of non-conductive specimens and to lead gases into the specimen chamber. It has been found, that as a consequence of ionization collisions of atoms and molecules of gases with electrons no surface negative charge demonstrates on the insulation specimen, as this charge is compensated by the collision ions. The compensation of electric charge enables direct observation of electrically non-charging samples without their coating with an electrically conductive layer.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0101179