Pozorování nevodivých vzorků v rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou

0022427 - ÚPT 2006 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Mika, Filip - Frank, Luděk
Pozorování nevodivých vzorků v rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou.
[Imaging of nonconductive specimen in SEM with catode lens.]
Československý časopis pro fyziku. Roč. 55, č. 3 (2005), s. 242-243. ISSN 0009-0700
Grant CEP: GA AV ČR(CZ) KJB2065301
Klíčová slova: low energy * insulator * critical energy
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Při pozorování nevodivých materiálů v SEM se v jejich povrchové vrstvě akumuluje náboj. Nabíjení vzorku negativně ovlivňuje tvorbu obrazu. Jedním ze způsobů, kterým lze tento nežádoucí efekt eliminovat je pracovat s takovou energií primárních elektronů při které je celkový elektronový výtěžek roven jedné. Byla navržena a odzkoušena metoda umožňující automatické nalezení této nenabíjející kritické energie.

If we observe a nonconductive structure in SEM, there is an electric charge accumulation in the surface layer that negatively influences the image formation. One of the ways to eliminate this unwanted effect is working at such a primary beam energy at which the entire flux of emitted electrons equals the primary beam current. There was created and verified a method enabling us to find this so-called critical energy for arbitrary specimen that doesn't show any prominent differences in the charging of larger areas.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0111167