Optika nabitých částic - okno do nanosvěta

0029861 - ÚPT 2006 RIV CZ cze B - Monografie kniha jako celek
Lencová, Bohumila
Optika nabitých částic - okno do nanosvěta.
[Optics of Charged Particles – A Window to Nanoworld.]
Brno: Vysoké učení technické v Brně, 2005. 21 s. Habilitační a inaugurační spisy, 179. ISSN 1213-418X
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: optics of charged particles * computation of electromagnetic field * finite element method * computer aided design of instruments * electron and ion microscopy and lithography
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Přednáška se zabývá použitím optiky nabitých částic v oblasti elektronové mikroskopie a v technologiích používajících elektronové a iontové svazky. Stručně zmiňuje historické milníky v této oblasti výzkumu a podává přehled projektů, na kterých se autorka zúčastnila. Jejich základem je počítačový návrh v optice nabitých částic, zejména velmi přesné výpočty polí metodou konečných prvků a určení jejich optických vlastností. Závěrem je charakterizován kurz Částicová optika, součást studia oboru fyzikální inženýrstvi na FSI VUT, a shrnut jeho příspěvek ke znalostem studentů.

The lecture covers the applications of charged particle optics in the area of electron microscopy and in technologies using electron and ion beams. It briefly lists historical milestones in this area of research, and gives a short summary of interesting projects, on which the author participated. The basis of them makes the computer-aided design in particle optics, in particular highly accurate computations of fields with the finite element method and the determination of their optical properties. Finally, a characteristics of the course Particle optics at FME BUT, a part of curriculum of MSc study of physical engineering (applied physics), is summarized together with its expected contribution to the knowledge of students.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0119651