E., C., V., F., Caliano, G., Pappalardo, M. (2002). Micromachined capacitive ultrasonic transducers fabricated using silicon on insulator wafers. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 61-62.

Micromachined capacitive ultrasonic transducers fabricated using silicon on insulator wafers

CALIANO, Giosue';PAPPALARDO, Massimo
2002-01-01

2002
E., C., V., F., Caliano, G., Pappalardo, M. (2002). Micromachined capacitive ultrasonic transducers fabricated using silicon on insulator wafers. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 61-62.
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