Strain measurements on Si/SiGe heterostructures using HRTEM

Özdöl, V. B.; Koch, C. T.; Phillipp, F.; van Aken, P. A.

doi:10.3217/978-3-85125-062-6-596

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Konferenzbeitrag

Strain measurements on Si/SiGe heterostructures using HRTEM

MPG-Autoren

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Özdöl, V. B.
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons75691

Koch, C. T.
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons75946

Phillipp, F.
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons76219

van Aken, P. A.
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Özdöl, V. B., Koch, C. T., Phillipp, F., & van Aken, P. A. (2009). Strain measurements on Si/SiGe heterostructures using HRTEM. In W. Grogger, F. Hofer, & P. Pölt (Eds.), MC2009. Vol. 3: Materials Science (pp. 447-448). Graz: Verlag der Technischen Universität Graz, Austria.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3E1F-3

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