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Konferenzbeitrag

Ion and Neutral Fluxes onto the Substrate from a DC Discharge in Methane

MPG-Autoren
/persons/resource/persons109753

Lange,  K.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons109489

Jacob,  W.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons109974

Moeller,  W.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Zitation

Lange, K., Jacob, W., & Moeller, W. (1993). Ion and Neutral Fluxes onto the Substrate from a DC Discharge in Methane. In J. E. Harry (Ed.), 11th International Symposium on Plasma Chemistry. Symposium Proceedings (pp. 1266-1271).


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-91D6-5
Zusammenfassung
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