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Konferenzbeitrag

Progress in the Development of a Large-Area RF Plasma Generator

MPG-Autoren
/persons/resource/persons109069

Feist,  J.-H.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons109698

Kraus,  W.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons110545

Speth,  E.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons108874

Ciric,  M.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons109347

Heinemann,  B.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons110203

Probst,  F.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;
Experimental Plasma Physics 2 (E2), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons110261

Riedl,  R.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Zitation

Feist, J.-H., Miley, G., Kraus, W., Elliott, C., Speth, E., Ciric, M., et al. (1996). Progress in the Development of a Large-Area RF Plasma Generator. 16th IEEE/NPSS Symposium Fusion Engineering, Vol. 2, 976-979.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-D061-D
Zusammenfassung
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