Intégration de source/drain Schottky en ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Intégration de source/drain Schottky en technologie MOS décananométrique
Auteur(s) :
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Journée Club EEA : Electronique des Dispositifs Ultimes et Innovants
Ville :
Fuveau
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2004
Date de publication :
2004
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :