A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS electrostatic actuators
Visualitza/Obre
A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS...pdf (723,4Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
10.1016/j.microrel.2010.09.027
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/13195
Tipus de documentArticle
Data publicació2011-03
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
This paper presents a high-bandwidth capacitance estimation and driving circuit especially tailored for its use with MEMS electrostatic actuators. The circuit can be integrated as a part of a system comprising
an electrostatic actuator to provide self-testing and failure prediction capabilities and also as a simple and
low-cost actuator dynamics characterization system capable of measuring both periodic and nonperiodic movements.
CitacióFernandez, D.; Madrenas, J.; Cosp, J. A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS electrostatic actuators. "Microelectronics reliability", Març 2011, vol. 51, núm. 3, p. 602-609.
ISSN0026-2714
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
A self-test and ... ion circuit for MEMS...pdf | 723,4Kb | Accés restringit |