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タイトル: | Wet Etching of beta-Ga2O3 Substrates |
著者: | Oshima, Takayoshi Okuno, Takeya Arai, Naoki Kobayashi, Yasushi Fujita, Shizuo https://orcid.org/0000-0001-6384-6693 (unconfirmed) |
発行日: | 2009 |
出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
巻: | 48 |
号: | 4 |
論文番号: | 040208 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/109005 |
DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.48.040208 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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