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| タイトル: | In situ Gravimetric Monitoring of Thermal Decomposition and Hydrogen Etching Rates of 6H-SiC(0001) Si Face |
| 著者: | Akiyama, Kazuhiro Ishii, Yasuhiro Abe, Sohei Murakami, Hisashi Kumagai, Yoshinao Okumura, Hironori Kimoto, Tsunenobu    https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)Suda, Jun Koukitu, Akinori |
| 発行日: | 2009 |
| 出版者: | JAPAN SOCIETY APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
| 巻: | 48 |
| 号: | 9 |
| 論文番号: | 095505 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/109597 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.48.095505 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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