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タイトル: | Production of liquid cluster ions for surface treatment |
著者: | Takaoka, GH Noguchi, H Yamamoto, T Seki, T https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed) |
キーワード: | liquid cluster cluster ion beam ethanol silicon surface etching |
発行日: | 2003 |
出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS |
巻: | 42 |
号: | 8B |
開始ページ: | L1032 |
終了ページ: | L1035 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/7602 |
DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.42.L1032 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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