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タイトル: | 4H-and 6H-SiC MOSFETs fabricated on sloped sidewalls formed by molten KOH etching |
著者: | Wahab, Q Kosugi, H Yano, H Hallin, C Kimoto, T https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed) Matsunami, H |
キーワード: | anisotropy channel mobility KOH etching MOSFETs |
発行日: | 2002 |
出版者: | TRANS TECH PUBLICATIONS LTD |
誌名: | SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2001, PTS 1 AND 2, PROCEEDINGS |
巻: | 389-3 |
開始ページ: | 1215 |
終了ページ: | 1218 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/8905 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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