Měření lokální elektrické vodivosti v poklepovém režimu AFM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato bakalářská práce je zaměřena na vývoj sondy pro měření lokální elektrické vodivosti v poklepovém režimu mikroskopie atomárních sil. Teoretická část práce podává stručný přehled rastrovací sondové mikroskopie a jejích mnohých měřicích technik, především pak vodivostní mikroskopie atomárních sil. Tato část také popisuje měřicí režim, v němž navržená sonda pracuje. Na závěr je zde představena křemenná ladička tvořící základ sondy. Praktická část sleduje postupný vývoj sondy jako takové a zahrnuje kapitolu věnovanou výrobě velmi ostrých vodivých hrotů potřebných pro elektrická měření. Závěr praktické části je věnován výrobě testovacích vzorků, na kterých byla prokázána funkčnost sondy, a samotnému měření lokální elektrické vodivosti.
This bachelor thesis is concerned about the development of a probe for local electrical conductivity measurements in tapping mode Atomic Force Microscopy. The teoretical part gives a short overview of Scanning Probe Microscopy techniques, with the focus being on Conductivity Atomic Force Microscopy. Furthermore, the measuring regime in which the probe operates is described here, as well as the basic component of the probe, the quartz tuning fork. The experimental part follows the iterative development process, and contains a chapter dedicated to making of very sharp tips. The final chapters describe the preparation of test samples, which were used to prove the functionality of the probe and the measurement of local electrical conductivity itself.
This bachelor thesis is concerned about the development of a probe for local electrical conductivity measurements in tapping mode Atomic Force Microscopy. The teoretical part gives a short overview of Scanning Probe Microscopy techniques, with the focus being on Conductivity Atomic Force Microscopy. Furthermore, the measuring regime in which the probe operates is described here, as well as the basic component of the probe, the quartz tuning fork. The experimental part follows the iterative development process, and contains a chapter dedicated to making of very sharp tips. The final chapters describe the preparation of test samples, which were used to prove the functionality of the probe and the measurement of local electrical conductivity itself.
Description
Citation
DAO, R. Měření lokální elektrické vodivosti v poklepovém režimu AFM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2018.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2018-06-22
Defence
Byly zodpovězeny otázky oponenta.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení