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Microparticle transfer onto pixel electrodes of 45 μm pitch on HV-CMOS chips—Simulation and experiment

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Wagner, J., Koenig, K., Foertsch, T., Löffler, F., Fernandez, S., Felgenhauer, T., et al. (2011). Microparticle transfer onto pixel electrodes of 45 μm pitch on HV-CMOS chips—Simulation and experiment. Sensors and Actuators A: Physical, 172(2), 533-545. doi:10.1016/j.sna.2011.06.017.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002C-567E-E
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