Orientador: Yoshikazo Ernesto Nagai

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Avanços recentes no processo CVD (chemical vapor deposition) para a deposição de diamante e de DLC (diamond-like carbon), à baixa pressão, têm atraído para este campo muitos pesquisadores dos meios acadêmicos e industriais. As propriedades físicas e quimicas excepcionais tornam estes...

Resumo: Avanços recentes no processo CVD (chemical vapor deposition) para a deposição de diamante e de DLC (diamond-like carbon), à baixa pressão, têm atraído para este campo muitos pesquisadores dos meios acadêmicos e industriais. As propriedades físicas e quimicas excepcionais tornam estes materiais muito estratégicos para aplicações científicas e tecnológicas. No presente trabalho de Tese, o método de chama oxi-acetilênica tem sido aplicado para depositar filmes de diamente policristalino e de DLC. Amostra típica de diamante auto-sustentado tem sido obtido em deposições sobre substrato de TiN a 800 ºC, usando um sistema de refrigeração à água e com queimadores com gases pré-misturados. A razão O2/C2H2 foi definida em torno de 0,9 com fluxo de oxigênio 670 sccm para deposições por cerca de três horas. O filme espesso destacado do substrato, foi caracterizado por difração de raios-X em uma nova metodologia para matrizes de materiais amorfos com diferentes densidades de partículas de diamante. A varredura do estreito feixe de raio-X é procedida ponto a ponto, ao longo do diâmetro da amostra

Abstract: Recent advances in the CVD (chemical vapor deposition) process for low pressure deposition of the diamond and od the DLC (diamond-like carbon) have attracted many researches into this field in academic and industrial laboratories. The unusual physical and chemical properties of these...

Abstract: Recent advances in the CVD (chemical vapor deposition) process for low pressure deposition of the diamond and od the DLC (diamond-like carbon) have attracted many researches into this field in academic and industrial laboratories. The unusual physical and chemical properties of these materials make them highly desirable for scientific and technological applications. In this thesis work the oxy-acetylene flame method has been applied to grow diamond and DLC films. A typical diamond self-standing sample has been deposited on TiN substrate at 800º C, using a water coolef nozzle with pre-mixed gases. The ratio O2/C2H2 was held at 0,9 and oxygen flux of 670 sccm for about three hours. The detached thick film has been characterized by X-ray diffraction in a novel methodology as applied to diamond particles embedded in an amorphous matrix. A thin S-ray beam has been scanned point by point along a diameter of the sample. In this way the amount of crystaline phase has been mapped and quantified relatively to the amorphous phase