Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100)
Regis Eugenio dos Santos
DISSERTAÇÃO
Português
(Broch.)
T/UNICAMP Sa59i
Campinas, SP : [s.n.], 2003.
90f : il.
Orientador: Ioshiaki Doi
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação
Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100)
Regis Eugenio dos Santos
Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100)
Regis Eugenio dos Santos
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