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Quelle alimentation pour quel plasma ? : Pulvérisation cathodique en régime d'impulsion de haute puissance (HiPIMS)
Konstantinidis, Stéphanos
2019
 

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Abstract :
[en] Cette Action Nationale de Formation est organisée au laboratoire GREMI (Orléans) sous l'égide du CNRS, de la DR08, de la MITI et du réseau des Plasmas Froids. L'objectif de cette ANF est de permettre aux stagiaires de connaître le fonctionnement des différents types d'alimentation électrique, de savoir les utiliser et de connaître l'influence de leurs propriétés sur les plasmas de laboratoire. A l'issue de la formation, chaque stagiaire sera capable de : Comprendre le fonctionnement des générateurs couramment utilisés pour la production des plasmas (générateurs HT DC, DC pulsé, RF, micro-ondes, etc.), Choisir le type de générateur le plus adéquate pour son application, Mettre en oeuvre les mesures de sécurité pour chaque type de générateur, Choisir des dispositifs de mesures électriques appropriés (sondes de tension/courant) , Connaitre les derniers développements en terme de générateur pulsé haute puissance ou haute tension (pour la pulvérisation, les décharges de type DBD, les jets plasmas, ...), Comprendre l'influence du type de générateur sur les propriétés de plasmas (décharge RF, magnétron, DBD, ...).
Research center :
CIRMAP - Centre d'Innovation et de Recherche en Matériaux Polymères
Disciplines :
Architecture
Chemistry
Physics
Author, co-author :
Konstantinidis, Stéphanos  ;  Université de Mons > Faculté des Sciences > Service de Chimie des Interactions Plasma-Surface
Language :
French
Title :
Quelle alimentation pour quel plasma ? : Pulvérisation cathodique en régime d'impulsion de haute puissance (HiPIMS)
Publication date :
03 April 2019
Number of pages :
47
Research unit :
S882 - Chimie des Interactions Plasma-Surface
Research institute :
R400 - Institut de Recherche en Science et Ingénierie des Matériaux
Available on ORBi UMONS :
since 08 April 2019

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