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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| ykogr03891.pdf | Abstract_要旨 | 207.02 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | X線リソグラフィを用いた3次元微細加工技術に関する研究 |
| 著者: | 松塚, 直樹  |
| 著者名の別形: | Matsuzuka, Naoki |
| 発行日: | 23-Mar-2006 |
| 出版者: | 京都大学 (Kyoto University) |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・論文博士 |
| 取得分野: | 博士(工学) |
| 報告番号: | 乙第11825号 |
| 学位記番号: | 論工博第3891号 |
| 学位授与年月日: | 2006-03-23 |
| 請求記号: | 新制||工||1381(附属図書館) |
| 整理番号: | 24367 |
| 研究科・専攻: | 立命館大学大学院理工学研究科総合理工学専攻 |
| 論文調査委員: | (主査)教授 田畑 修, 教授 小寺 秀俊, 教授 松原 厚 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第4条第2項該当 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/143952 |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) |
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