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| タイトル: | Correspondence between surface morphological faults and crystallographic defects in 4H-SiC homoepitaxial film |
| 著者: | Okada, T Kimoto, T    https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)Noda, H Ebisui, T Matsunami, H Inoko, F |
| キーワード: | 4H-SiC homoepitaxy off-cut substrate surface morphological fault transmission electron microscopy |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| 巻: | 41 |
| 号: | 11A |
| 開始ページ: | 6320 |
| 終了ページ: | 6326 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/6666 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.41.6320 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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