Interdiffusion in amorphous Si/Ge multilayers by Auger depth profiling technique
Dátum
2001
Folyóirat címe
Folyóirat ISSN
Kötet címe (évfolyam száma)
Kiadó
Absztrakt
Leírás
Kulcsszavak
Forrás
Journal Of Applied Physics. -89 : 1 (2001), p. 804-806. -J. Appl. Phys. - 0021-8979