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3-D SOI MEMS for sensing applications
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André, Nicolas
[UCL]
Raskin, Jean-Pierre
[UCL]
Francis, Laurent
[UCL]
| Document type | Communication à un colloque (Conference Paper) – Conférence invitée / Keynote |
|---|---|
| Publication date | 2010 |
| Language | Anglais |
| Conference | "3ème Colloque du Laboratoire International Associé « Nanotechnologies & Nanosystèmes", Sherbrooke (Canada) (du 12/07/2010 au 16/07/2010) |
| Peer reviewed | yes |
| Host document | "Proceedings du 3ème Colloque du Laboratoire International Associé « Nanotechnologies & Nanosystèmes"- p. 88 |
| Publication status | Publié |
| Affiliation | UCL - SST/ICTM/ELEN - Pôle en ingénierie électrique |
| Links |
| Bibliographic reference | André, Nicolas ; Raskin, Jean-Pierre ; Francis, Laurent. 3-D SOI MEMS for sensing applications.3ème Colloque du Laboratoire International Associé « Nanotechnologies & Nanosystèmes (Sherbrooke (Canada), du 12/07/2010 au 16/07/2010). In: Proceedings du 3ème Colloque du Laboratoire International Associé « Nanotechnologies & Nanosystèmes, 2010, p. 88 |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078.1/86798 |