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| タイトル: | Thermal decomposition mechanism of a titanium source, Ti-(MPD)-(METHD)(2), in MOCVD |
| 著者: | Nakamura, T Nishimura, T Tachibana, K |
| 発行日: | 2004 |
| 出版者: | ELECTROCHEMICAL SOC INC |
| 誌名: | JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY |
| 巻: | 151 |
| 号: | 12 |
| 開始ページ: | C806 |
| 終了ページ: | C810 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/6166 |
| DOI(出版社版): | 10.1149/1.1819651 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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