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| タイトル: | Low-damage surface smoothing of laser crystallized polycrystalline silicon using gas cluster ion beam |
| 著者: | Tokioka, H. Yamarin, H. Fujino, T. Inoue, M. Seki, T.    https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed)Matsuo, J. https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed) |
| キーワード: | polycrystalline silicon thin films cluster surface atomic force microscopy ultraviolet spectroscopy |
| 発行日: | 2007 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| 巻: | 257 |
| 開始ページ: | 658 |
| 終了ページ: | 661 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/67564 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.nimb.2007.01.269 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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